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研磨抛光夹具

【简介】所有部件由高度防腐蚀材料制成,可在强腐蚀环境里实现稳定运转。
通过真空直接吸附标准片样品。
可通过真空吸附衬底片将粘接到衬底片上的异形或厚度极薄的样片进行固定。
压力连续可调,工艺实施过程中厚度实时监测,精度1um。
通过角度调整装置,可以在+/-3度范围内对样品进行精确定向。
可广泛适用于固定化合物半导体材料,光电材料,金属薄膜等多种材质的样片。

产品型号:ASJ系列
更新时间:2025-10-11
厂商性质:生产厂家
访问量:102
产品介绍
设备通体采用高度防腐蚀材料打造,可在强腐蚀环境中稳定运转,适配严苛工况。样品固定方式灵活:既能通过真空直接吸附标准片,也可借助真空吸附衬底片,牢牢固定粘接于衬底片的异形样片或极薄样片,解决特殊形态样品固定难题。工艺控制精准,压力支持连续调节,过程中实时监测样片厚度,精度达 1μm;搭配角度调整装置,可在 ±3 度范围内对样品精确定向,保障工艺稳定性。设备兼容性广,能广泛固定化合物半导体材料、光电材料、金属薄膜等多种材质样片,满足多场景应用需求。

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研磨抛光夹具

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