金刚石抛光机设备特点：$n□ 整机防腐，适应常规化学机械抛光耐腐蚀要求；$n□ 样片去除厚度在线实时监测，精度1μm；$n□ 可实现端面及角度研磨抛光工艺。

端面抛光机设备，单面研磨抛光机特点：$n□ 整机防腐，适应常规化学机械抛光耐腐蚀要求；$n□ 样片去除厚度在线实时监测，精度1μm；$n□ 可实现端面及角度研磨抛光工艺；