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【简介】MS精密磨抛机整机高度防腐。可实现超高精度端面及角度研磨抛光工艺。磨抛夹具面型自适应功能。磨抛盘在线自动平整度控制功能,精度1μm最多可同时磨抛4*4inch或2*6inch及以下样片。
MS精密磨抛机整机高度防腐。
可实现超高精度端面及角度研磨抛光工艺。
磨抛夹具面型自适应功能。
磨抛盘在线自动平整度控制功能,精度1μm。
最多可同时磨抛4*4inch或2*6inch及以下样片。
MS精密磨抛机多种选配功能:蓝牙无线传输数据、自动温控 自动清洗,一机多控等。
【规格型号】
【适用材料】
CZT、MCT、SiC、GaN、LiNbO3、LiTaO3、GaSb、InSb
【应用领域】
半导体衬底、器件、封装、MEMS
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